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单晶硅棒

单晶硅棒

单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。单晶硅棒是在工业生产中使用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。其主要指标有少子寿命,氧含量等等。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料。

技术参数

项目 技术参数
位错密度 <500at0ms/cm²
边长 156.75±0.25mm
对角线(单晶) 210±0.25mm
四边垂直度 90°±0.3°
晶向 <100>±3°
粗糙度 Ra≤1.5um
弧宽度偏差(单晶) 12±0.5mm
斜面 ≤1.5mm
导电类型 P
电阻率 1-3Ω·cm
少子寿命 >3μs(裸测),>15μs(钝化后)
氧含量 ≤1*1018atoms/cm³
碳含量 ≤0.5*1017atoms/cm³
生长方法 CZ 直拉法
掺杂挤 B 硼